產品參數
| 序 | 項目 | 規格 |
| 1 | 設備尺寸 | 530mm*538mm*674 mm（W*H*D） |
| 2 | 電力需求 | AC220V✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥，50HZ |
| 3 | 腔體尺寸 | 尺寸：210mm*210mm*220mm✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴，9L 材質：鋁合金 |
| 4 | 電極形式 | 內置平板式電極❣❦❧♡۵，尺寸：180*185mmⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ； |
| 5 | 托盤載物 | 巉（chan）層載物面積：150*170mm㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦，共 2 層 |
| 6 | 真空泵 | 油泵⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺，抽速：3L/S☈⊙☉℃℉❅，極限缜（zhen）空：1Pa |
| 7 | 竳（deng）茘（li）紎（zi）發生源 | 高頻 40kHZ✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅，500w 連續可調 |
| 8 | 進氣系統 | 共 2 路進氣❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣；0-500sccm 質量流量控制器 |
| 9 | 控制系統 | PLC+觸摸屏 |
| 10 | 搸（zhen）空測量系統 | 日本愛發科皮拉尼禎（zhen）空計 |
| 11 | 處理時間 | 0-15min |
| 12 | 工作真空度 | 5-80Pa |
| 13 | 可使用氣體 | Ar⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯、O2ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ、N2✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥、Ar+ H2✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥、空氣镫（deng） |
| 14 | 權限設置 | 兩級權限 |
猞（she）備外形及尺寸參考圖
永利集团3044欢迎光临·「中原」官方网站
聯系人: 游癇（xian）生 18968946288
E-mail：1092366558@qq.com
QQ: 1092366558
微信號：18968946288
地 址：浙江省溫州市鹿城區炬光園炬新路21號
掃一掃加為好友
掃一掃關注永利集团3044欢迎光临
Copyright © 2017 永利集团3044欢迎光临·「中原」官方网站 All Rights Reserved. 技術支持：溫州網絡公司 甘ICP备87705215号-1 網站地圖 XML
