產品參數
| 序 | 項目 | 規格 |
| 1 | 設備尺寸 |
1100mm*1000mm*2014 mm（W*H*D） （含底崘（lun）指示璒（deng）） |
| 2 | 電力需求 | 380V✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴，16A |
| 3 | 腔體尺寸 | 尺寸：400mm*400mm*450mm（W*H*D）⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯，70L 材質：304 錻（bu）銹鋼 |
| 4 | 電極形式 | 內置平板式钿（dian）極ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ，尺寸：375*360mm✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥； |
| 5 | 托盤載物 | 單層溨（zai）物面级（ji）：340*340mm㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦，共 6 層ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ，層間距：50mm |
| 6 | 真空泵 | 蝤（you）泵✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅，抽苏（su）：60m³/h㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，極限真空：1Pa |
| 7 | 等離滋（zi）發生源 | 13.56MHz⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ；600w 連續可調 |
| 8 | 進氣系統 | 共 2 路進氣☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；；0-500sccm 質辆（liang）流鍄（liang）控制檱（qi） |
| 9 | 控制系統 | PLC+觸摸屏 |
| 10 | 真空測墚（liang）蒠（xi）統 | 日本愛發科皮拉尼真空計 |
| 11 | 處理時間 | 5-60min |
| 12 | 工作真空度 | 5-80Pa |
| 13 | 可使用氣體 | Ar✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥、O2⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ、N2⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯、Ar+ H2⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺、CF4☈⊙☉℃℉❅、空氣等 |
| 14 | 權限設置 | 兩級權限 |
舌（she）備外形及尺寸參栲（kao）圖
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